關于OTFC系列

OTFC-1800

OTFC系列是用于生產(chan)紅外(wai)截止濾(lv)光片(pian)、分色(se)濾(lv)光片(pian)等成膜的真空鍍膜裝置。

特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60點(dian)/80點(dian)式光學(xue)膜厚監(jian)控
使用均勻分(fen)布的高離子電(dian)流密度的離子源
搭載雙(shuang)電子(zi)槍，多點和(he)環型坩堝可鍍100層以上
利用自(zi)動蒸鍍控制系統實現全自(zi)動蒸鍍過程
工件(jian)架可選(xuan)擇鐘罩式(shi)或行星式(shi)
排(pai)氣系統可選擇擴散(san)泵+低溫冷凝(ning)器(POLYCOLD)或(huo)冷凝(ning)泵
規格
設(she)備名稱 OTFC-1800CBI/DBI
真(zhen)空室(shi) SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工(gong)件架 φ1600mm
工件架轉(zhuan)速(su) 10rpm to 30rpm(可變)
光學(xue)膜厚(hou)控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式或透射式
石(shi)英晶振(zhen)膜厚計 XTC/3+6點式(shi)石英晶體傳感器
蒸發(fa)源 電子(zi)槍(qiang)2套
離子源 23cmRF離子源
排氣系統 機械(xie)泵(beng)+2個擴散(san)泵(beng)+Polycold（或2個冷凝(ning)泵(beng)）
性能
達到壓力 7.0×10-5 Pa 以下
排氣時間(jian) 20分(fen)（大氣壓～1.3×10-3 Pa)
基板溫度 最高：350℃
工作條件
設備(bei)尺寸 約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
電(dian)源 3相(xiang), 200V, 50/60Hz, 約150kVA
水(shui)流量 180升/分(fen)以上
空氣壓力 0.5MPa以上(shang)
重(zhong)量 約11200kg