關于SPOC系列

SPOC-1100T

SPOC-1100T系列是用(yong)于制造DWDM用(yong)窄帶濾(lv)光(guang)(guang)(guang)片(pian)的(de)真空鍍(du)膜系統。能進(jin)行高(gao)精度的(de)光(guang)(guang)(guang)學多層膜鍍(du)膜,生(sheng)產光(guang)(guang)(guang)通信用(yong)的(de)濾(lv)光(guang)(guang)(guang)片(pian)。 SPOC-1100R是用(yong)于截止濾(lv)光(guang)(guang)(guang)片(pian),分束器,抗反射膜等光(guang)(guang)(guang)學鍍(du)膜機。

特征
利用(yong)高精(jing)度(du)反射光學膜厚計實時(shi)測(ce)定和控制(zhi)成膜時(shi)的膜厚
利(li)用高(gao)速基板旋轉機(ji)構(gou)提高(gao)膜的均勻性
搭載(zai)雙電(dian)子槍并加大型坩(gan)堝,能對應超(chao)多層薄膜
配上OPTORUN`產離子源(yuan)實現高蒸發速率(lv),提高生產率(lv)