關于OTFC系列

OTFC-1100

OTFC系列是用于(yu)生產(chan)紅外截止濾光片(pian)、分(fen)色濾光片(pian)等成膜的真空(kong)鍍膜裝置(zhi)。

特征
真空室尺(chi)寸：Φ600-1800mm
60點(dian)/80點(dian)式(shi)光學(xue)膜厚監控
使用均勻分布的(de)高(gao)離子(zi)電流(liu)密度的(de)離子(zi)源
搭載雙電子(zi)槍，多點(dian)和環型坩堝可(ke)鍍100層以上
利用(yong)自動(dong)蒸鍍控制系統實現全自動(dong)蒸鍍過程
工件架可選擇(ze)鐘罩式(shi)或行星式(shi)
排氣系統可(ke)選擇擴(kuo)散泵+低溫(wen)冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
規格
設備名稱(cheng) OTFC-1100CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
工(gong)件架 φ950mm
工件架轉速(su) 10rpm to 50rpm(可變)
光(guang)學膜厚(hou)控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
波長范圍:350nm to 1100nm
反射式/透射式可選
水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水(shui)晶(jing)傳(chuan)感器
蒸(zheng)發源 電子槍(qiang)2套
離子源 17cmRF離子(zi)源
排(pai)氣系統 機(ji)械泵+2個(ge)擴散(san)泵+Polycold（或2個(ge)冷凝泵）
性能
達到(dao)壓力 7.0×10-5Pa以(yi)下
排氣時間 15分（大氣壓～1.3×10-3Pa）
基(ji)板(ban)溫度(du) 最高：350℃
工作條件
設(she)備尺寸 約(yue)5000mm(W)×6000mm(D)×3300mm(H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約100KVA
水流量 120升/分(fen)以上(shang)
空(kong)氣(qi)壓力 0.5MPa以(yi)上
重(zhong)量 約7200kg