關于OTFC系列
OTFC-1550
OTFC系列是用于生產(chan)紅外(wai)截(jie)止濾光(guang)片、分色(se)濾光(guang)片等成膜(mo)的真空鍍(du)膜(mo)裝(zhuang)置。
- 特征
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真空室尺(chi)寸：Φ600-1800mm
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60點/80點式光學(xue)膜厚監控
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使用均(jun)勻(yun)分布(bu)的(de)高離(li)子(zi)電(dian)流密度的(de)離(li)子(zi)源
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搭載(zai)雙電子槍，多點(dian)和環型坩堝可鍍100層以上
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利用自動蒸鍍控制系統實(shi)現全自動蒸鍍過程
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工件架可選擇鐘罩式或行星式
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排(pai)氣系統可(ke)選擇擴散(san)泵+低溫冷(leng)凝器(qi)(POLYCOLD)或冷(leng)凝泵
- 規格
- 設備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空室(shi) SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工件(jian)架(jia) φ 790mm
- 工件架轉速 10 rpm to 30 rpm (可變(bian))
- 光學膜(mo)厚控(kong)制(zhi) HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jian)控儀波長范圍(wei)：350nm to1100nm反射(she)式(shi)/透射(she)式(shi)可選
- 水晶(jing)式膜(mo)厚計 XTC/3+6點(dian)式水晶傳感器
- 蒸發源(yuan) 電子槍2套(tao)
- 離子源 10cm RF 離(li)子源
- 排(pai)氣系統 機械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷凝泵）
- 性能
- 達(da)到(dao)壓力(li) 7.0 × 10-5 Pa 以下(xia)
- 排(pai)氣時(shi)間 15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基板溫度 最高：350℃
- 工作條件
- 設備尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源(yuan) 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流量 180升/分以(yi)上
- 空氣壓力(li) 0.5MPa 以上(shang)
- 重量(liang) 約5400kg
