ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是一種等離子(zi) ALD 系統(tong)，可(ke)在塑(su)料(liao)基板上(shang)進行光學(xue)多層(ceng)沉積(ji)。
- 特征
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在整個(ge)鏡片(pian)圓(yuan)周和 3D 結構上進行保形沉積
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可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上進行薄膜(mo)沉積。
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工作盤(pan)成(cheng)膜量大(da) Φ100×75片
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等(deng)離子工藝可實現低溫沉積
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通過(guo)優(you)化原(yuan)材料供應和等離子體照(zhao)射縮短沉積時間
