關于OTFC系列

OTFC-900

OTFC系列是用于生產紅外(wai)截(jie)止濾(lv)光(guang)片、分色濾(lv)光(guang)片等成膜的真空鍍膜裝(zhuang)置。

特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60點/80點式光學膜厚監控(kong)
使用均勻分布的(de)高(gao)離子電流密度的(de)離子源(yuan)
搭載雙電子槍，多點(dian)和環型坩堝可鍍100層以上
利用自(zi)動蒸鍍控制系統(tong)實現全自(zi)動蒸鍍過程
工件(jian)架(jia)可選擇鐘罩式或行星(xing)式
排氣系統可選擇擴散泵(beng)+低溫冷(leng)凝器(POLYCOLD)或冷(leng)凝泵(beng)
規格
設(she)備名稱 OTFC-900CBI/DBI
真空室(shi) SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件架 φ 790mm
工(gong)件(jian)架轉速 10 rpm to 30 rpm (可變)
光學膜(mo)厚(hou)控制 HOM2-R-VIS350A光學(xue)膜厚監控儀波長范圍：350nm to1100nm反射(she)式/透射(she)式可(ke)選
水晶(jing)式膜厚計(ji) XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發源 電子槍2套(tao)
離子源(yuan) 10cm RF 離(li)子源
排(pai)氣(qi)系統 機械泵+1個擴散泵+Polycold（或(huo)1個冷凝泵）
性能
達到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以(yi)下
排氣時間 15 分(fen) (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
基(ji)板溫度 最(zui)高：350℃
工作條件
設(she)備尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
電(dian)源 3相(xiang),200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量(liang) 80升(sheng)/分以上
空氣(qi)壓力 0.5MPa 以上
重量 約5400kg