離子源

OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus

17cm RF Ion Source

OIS-One是光馳(chi)自(zi)行(xing)開發的(de)(de)離(li)(li)子輔助蒸度高性(xing)能射頻（RF）離(li)(li)子源(yuan)，適(shi)應于(yu)在(zai)高速率下(xia)的(de)(de)離(li)(li)子束輔助沉(chen)積(ji)（IAD）及清洗(xi)。搭載在(zai)光馳(chi)的(de)(de)成(cheng)膜(mo)設備(bei)OTFC-1100,OTFC-1300上適(shi)于(yu)各種(zhong)光學濾光片(pian)的(de)(de)中(zhong)規(gui)模量(liang)產(chan)。 OIS-Two Plus是OIS-Two的(de)(de)延(yan)伸機(ji)型。在(zai)離(li)(li)子輔助蒸鍍大電流大面積(ji)的(de)(de)性(xing)能方(fang)面加以進化(hua)的(de)(de)RF離(li)(li)子源(yuan)，維護性(xing)能的(de)(de)優化(hua)及中(zhong)和器的(de)(de)改(gai)良，提高冷卻(que)效率來(lai)達(da)到(dao)穩定生(sheng)產(chan)的(de)(de)效果。適(shi)用于(yu)在(zai)高速率下(xia)離(li)(li)子束輔助沉(chen)積(ji)（ＩＡＤ）及清洗(xi)。搭載在(zai)光馳(chi)的(de)(de)ＯＴＦＣ-1300，ＯＴＦＣ-1550成(cheng)膜(mo)設備(bei)上可(ke)適(shi)合于(yu)各種(zhong)光學濾光片(pian)的(de)(de)大規(gui)模量(liang)產(chan)。

特征
同(tong)使用燈絲型(xing)的離子源(yuan)比較，壽命長(chang)，污染少。
高離(li)子電流密度和均勻分布，照射面(mian)積(ji)能達到Ф1150mm以(yi)上
動作安定性高，能長時(shi)間(jian)運轉(zhuan)
規格
型號(hao) OIS-One OIS-Two OIS-Two Plus
尺寸(cun) φ300mm × 150mm (H)
柵網尺寸 Ф 17cm(Molybdenum制3枚)
離子束電壓 100V～1500V
離子束(shu)電流(liu) 1000mA 1200mA
Acc電(dian)壓 100V～1000V
RF功(gong)率 600W 750W 1000W
氣(qi)體流(liu)量 20sccm～30sccm（氬氣）40sccm～60sccm（氧氣）
使用壓力 5 × 10-2 Pa
水(shui)冷(leng)方式 RF線圈(quan)和本體
中和器規格
尺寸 φ 6cm × 8cm