ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是一種等離子 ALD 系統(tong)，可(ke)在(zai)塑料基板上進行(xing)光學多(duo)層沉積(ji)。
- 特征
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在整個鏡片圓周和 3D 結構上進行保形沉積(ji)
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可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上進行薄(bo)膜沉積。
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工作(zuo)盤成膜量大 Φ100×75片
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等離(li)子工藝(yi)可實(shi)現低溫沉積
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通過優化原材(cai)料供應和等離(li)子體照射縮短沉積(ji)時間(jian)
