關于OTFC系列
OTFC-900
OTFC系列是用于生(sheng)產(chan)紅(hong)外截止濾(lv)光(guang)(guang)片、分色(se)濾(lv)光(guang)(guang)片等成膜的真(zhen)空鍍膜裝置。
- 特征
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真空室(shi)尺寸：Φ600-1800mm
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60點(dian)/80點(dian)式光學膜厚監(jian)控(kong)
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使用均(jun)勻分布的高離(li)子(zi)電流密度的離(li)子(zi)源
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搭載(zai)雙(shuang)電子(zi)槍，多點和環型坩堝可(ke)鍍100層(ceng)以上
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利用(yong)自動蒸(zheng)鍍控制系統實現全自動蒸(zheng)鍍過程
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工件架可選擇鐘罩式或行星式
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排氣系統可選擇擴散(san)泵(beng)+低溫冷(leng)凝器(POLYCOLD)或冷(leng)凝泵(beng)
- 規格
- 設備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工件架 φ 790mm
- 工件架轉(zhuan)速 10 rpm to 30 rpm (可變)
- 光學膜厚(hou)控制(zhi) HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jian)控(kong)儀波長范圍：350nm to1100nm反射式(shi)/透射式(shi)可選(xuan)
- 水晶(jing)式膜厚(hou)計(ji) XTC/3+6點式水(shui)晶傳感器(qi)
- 蒸(zheng)發源(yuan) 電子槍(qiang)2套
- 離子源 10cm RF 離子源
- 排氣系統 機械泵+1個(ge)擴散泵+Polycold（或1個(ge)冷凝泵）
- 性能
- 達到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以(yi)下
- 排(pai)氣時間 15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基板溫度(du) 最高：350℃
- 工作條件
- 設備尺寸(cun) 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流量 80升/分以(yi)上
- 空氣壓力 0.5MPa 以上(shang)
- 重量 約5400kg
