連續式光學薄膜形成裝置

COFC-1300

COFC-1300是由三個腔(qiang)體組成(cheng)的(de)連(lian)續式光(guang)(guang)學薄(bo)膜鍍膜，可不破壞真空的(de)情況下搬(ban)運工件，以實現連(lian)續大量(liang)生產光(guang)(guang)學濾光(guang)(guang)片。

特征
無振(zhen)動傘架搬運系統
中(zhong)心旋(xuan)轉系統可提高旋(xuan)轉精度并抑制(zhi)顆(ke)粒產生
轉速(su)為20rpm，以改善膜厚控制能力
12點式高精度光學測厚監控儀
水晶微平衡(heng)監控(kong)儀（最多80個監測點）
裝載射頻離(li)子源以實現高品質復雜薄(bo)膜
自動傘(san)架安(an)裝系統(tong)（可選自動裝載(zai)搬運系統(tong)，可選額外真空(kong)室）
規格
真空腔體（3腔體式） 上片腔體+蒸鍍腔體+下片腔體
（可選上片/下片式）
真(zhen)空(kong)上片/下片腔體（2腔體） 304不銹鋼，
約1500mm (長) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
蒸鍍腔體（2個門閥(fa)） 304不銹鋼，
約1500mm (長) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
極限真(zhen)空(kong)壓力(li) ≤1.5 × 10-4 Pa
連續鍍膜的極限真空時間(jian) ≤5 - 10分鐘 (7.0 × 10-3 Pa)
基板傘架 直(zhi)徑(jing)1200 mm
旋轉速度(du) 5 - 20 rpm
蒸(zheng)發源（2個蒸(zheng)發源） 電(dian)子槍（帶自(zi)動進料系(xi)統）
射頻離(li)子源 直徑17cm
工作條件
電源要求 3相+G, 200V ± 5％、約(yue)140kVA、50/60Hz
冷(leng)卻水流量 三個進水口≥200升(sheng)/分鐘
重量 約25000 kg