離子源
OIS-Three/OIS-Three Plus
RF Ion Source
OIS-Three/ OIS-Three Plus是離子(zi)輔助蒸(zheng)鍍(du)(du)的(de)RF離子(zi)源，可以均勻照射Ф1600傘架(jia)。適(shi)合高(gao)速率(lv)下(xia)的(de)真(zhen)空蒸(zheng)著及基(ji)板清潔。搭載在OTFC-1800光學鍍(du)(du)膜機上，適(shi)合于各(ge)種高(gao)性能光學濾(lv)光片的(de)大批(pi)量生(sheng)產。
- 特征
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新開發的(de)特殊柵網，壽命(ming)長
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同(tong)使用(yong)燈絲型的離子源相比，壽命(ming)長，污染少
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高(gao)離子(zi)電流(liu)密度和均(jun)勻分(fen)布，照射面積(ji)能達到(dao)Ф1600mm以上
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動作安定性高，能長時間(jian)運轉
- 規格
- 型號 OIS-Three OIS-Three Plus
- 尺寸 φ 390mm × 215mm(H)
- 柵網尺(chi)寸 Ф 23cm(Molybdenum制3枚)
- 離子束電壓 100V～1500V
- 離子束電流(liu) 1800mA 2400mA
- Acc電壓 100V～1000V
- RF功率 2000W
- 氣體(ti)流量 20sccm～40sccm（氬氣）40sccm～80sccm（氬氣）
- 使用(yong)壓力(li) 5 × 10-2 Pa
- 水冷(leng)方式 RF線圈和(he)本體
- 中和器規格
- 尺寸 φ 7cm × 12cm
- 發射(she)電流 2800mA(max)
- RF功率(lv) 150W(max）
- 氣體流量 5sccm～10sccm（氬氣）
