離子源

OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus

17cm RF Ion Source

OIS-One是光(guang)(guang)馳自行開發的(de)(de)離子(zi)輔助蒸度高(gao)(gao)性能(neng)射頻(pin)（RF）離子(zi)源(yuan)，適應于在(zai)(zai)(zai)高(gao)(gao)速(su)率(lv)下(xia)(xia)的(de)(de)離子(zi)束輔助沉(chen)積（IAD）及清洗。搭(da)載(zai)在(zai)(zai)(zai)光(guang)(guang)馳的(de)(de)成(cheng)膜(mo)(mo)設(she)備OTFC-1100,OTFC-1300上適于各(ge)種(zhong)(zhong)光(guang)(guang)學(xue)濾(lv)光(guang)(guang)片的(de)(de)中規模量(liang)產(chan)。 OIS-Two Plus是OIS-Two的(de)(de)延(yan)伸機型。在(zai)(zai)(zai)離子(zi)輔助蒸鍍大電(dian)流大面積的(de)(de)性能(neng)方面加以進化(hua)的(de)(de)RF離子(zi)源(yuan)，維護(hu)性能(neng)的(de)(de)優化(hua)及中和器的(de)(de)改(gai)良(liang)，提高(gao)(gao)冷卻效率(lv)來(lai)達(da)到(dao)穩定生產(chan)的(de)(de)效果。適用于在(zai)(zai)(zai)高(gao)(gao)速(su)率(lv)下(xia)(xia)離子(zi)束輔助沉(chen)積（ＩＡＤ）及清洗。搭(da)載(zai)在(zai)(zai)(zai)光(guang)(guang)馳的(de)(de)ＯＴＦＣ-1300，ＯＴＦＣ-1550成(cheng)膜(mo)(mo)設(she)備上可適合于各(ge)種(zhong)(zhong)光(guang)(guang)學(xue)濾(lv)光(guang)(guang)片的(de)(de)大規模量(liang)產(chan)。

特征
同使用燈(deng)絲型的離子源比較，壽命長，污染少。
高離子電流密度和均(jun)勻分布，照射面積能達到Ф1150mm以上
動作安定性(xing)高(gao)，能長(chang)時間運轉
規格
型(xing)號(hao) OIS-One OIS-Two OIS-Two Plus
尺(chi)寸 φ300mm × 150mm (H)
柵網尺寸 Ф 17cm(Molybdenum制3枚)
離子束電壓 100V～1500V
離子束電流 1000mA 1200mA
Acc電壓(ya) 100V～1000V
RF功率 600W 750W 1000W
氣體流量 20sccm～30sccm（氬氣）40sccm～60sccm（氧氣）
使(shi)用壓力 5 × 10-2 Pa
水(shui)冷方式 RF線(xian)圈和本體
中和器規格
尺寸(cun) φ 6cm × 8cm