關于OTFC系列
OTFC-900
OTFC系(xi)列是用(yong)于生產紅外截(jie)止濾光片(pian)、分色(se)濾光片(pian)等成膜的真空鍍(du)膜裝置。
- 特征
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真空室尺寸：Φ600-1800mm
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60點/80點式(shi)光(guang)學(xue)膜厚監控(kong)
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使(shi)用均勻分布的高離子電(dian)流密度的離子源
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搭載雙(shuang)電子槍(qiang)，多點和環型坩(gan)堝可鍍100層以上(shang)
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利用(yong)自動蒸(zheng)鍍(du)控制系統實現全(quan)自動蒸(zheng)鍍(du)過程(cheng)
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工(gong)件(jian)架(jia)可選擇鐘罩式或行星式
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排氣系統可(ke)選擇擴(kuo)散(san)泵(beng)+低(di)溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵(beng)
- 規格
- 設備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工件架(jia) φ 790mm
- 工(gong)件架(jia)轉(zhuan)速 10 rpm to 30 rpm (可(ke)變)
- 光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀波長范(fan)圍：350nm to1100nm反射式/透(tou)射式可選(xuan)
- 水晶(jing)式膜(mo)厚計 XTC/3+6點式(shi)水晶傳感(gan)器
- 蒸發源 電子(zi)槍2套(tao)
- 離子源 10cm RF 離子(zi)源(yuan)
- 排氣(qi)系統 機(ji)械(xie)泵(beng)+1個(ge)(ge)擴散泵(beng)+Polycold（或1個(ge)(ge)冷(leng)凝泵(beng)）
- 性能
- 達到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以下
- 排(pai)氣時(shi)間 15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基(ji)板溫度 最(zui)高(gao)：350℃
- 工作條件
- 設備尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水(shui)流量 80升/分(fen)以上
- 空氣壓力 0.5MPa 以上
- 重(zhong)量(liang) 約5400kg
