ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是一種等離子(zi) ALD 系統(tong)，可(ke)在塑料基板上進行光學多層沉(chen)積。
- 特征
-
在整個鏡片圓周和 3D 結(jie)構上進行保形(xing)沉積
-
可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上(shang)進行薄(bo)膜沉積。
-
工作盤成(cheng)膜量大 Φ100×75片
-
等離子工藝(yi)可(ke)實現低溫沉積
-
通(tong)過優化(hua)原材料(liao)供應(ying)和等離子體照射縮短沉積時間
