ALDER

ADLER-1000P

ALDER-1000 實現了傳(chuan)統薄膜(mo)沉積方法無法實現的光學特性。可以形成(cheng)3D膠片(pian)，相機鏡頭上的AR膠片(pian)可以創造出沒有重影(ying)和眩光的清晰圖像。

特征
可見光范圍內(nei)小(xiao)于(yu)0.1%的超低反射鍍膜
在具有陡峭三維結構的表面上進行保(bao)形(xing)沉(chen)積
大曲率透(tou)鏡兩側(ce)的廣(guang)入射角增(zeng)透(tou)膜
低溫等離子在塑料鏡片上成(cheng)膜
通(tong)過同時(shi)沉(chen)積 40 個 φ350 晶圓實現高(gao)生產(chan)率
實現逼真清晰的圖像，沒(mei)有重影(ying)和眩光
規格
真空室(shi) W900mm x D900mm x H1150mm
沉積箱 W374mm x D700mm x H800mm
轉板架 φ350支架×40步，30rpm
等離子源 ICP（電感(gan)耦合等離(li)子體(ti)）
前體來源 前體(ti)容器、ALD 閥、前體(ti)（TMA、3DMAS、TiCl4 等）
排氣系統 干泵(beng)
性能
極限(xian)壓(ya)力(li) 真空(kong)室(shi)：小于7Pa
排氣(qi)時間 真空室：30分鐘（大(da)氣壓至10Pa）
沉積(ji)溫度(du) 最高130℃