光學膜厚監控儀
DHOM-T
直接透過式監控儀
DHOM-T是可(ke)直(zhi)接監控成膜過(guo)程中(zhong)旋轉(zhuan)基板上的光學(xue)(xue)膜厚的光學(xue)(xue)膜厚計。 波(bo)長帶(dai)域為350～1100nm與(yu)350～2400nm。
- 特征
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可直接監控旋轉基(ji)板片上(shang)的(de)光學膜厚
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旋轉基板上的監控點(dian)可變(鍍膜前調(diao)整)
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可同時配(pei)備間接控制儀(yi)能實現(xian)各層間控制方式切(qie)換(huan)
- 規格
- 型號(hao) DHOM2-T DHOM4-T
- 波長帶域 350 ～ 1100nm 350 ～ 2400nm
- 測光(guang)方式(shi) 透過式
- 光源 鹵素燈
- 電源 AC100V ± 10%, 50/60Hz
