光學膜厚監控儀
HOM1-1
高精度光學膜厚監控儀
用于DWDM成膜用真空鍍膜系統(tong)的膜厚控制。
- 特征
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高NA值(zhi)光(guang)學系統和低噪(zao)(zao)音電路設計，實現低噪(zao)(zao)音，相對值(zhi)達到 +0.01%
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應(ying)用(yong)高分解能(neng)分光光學(xue)系(xi)，波長分解能(neng)達到0.08nm(1550nm)
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使用鹵素燈光源，使用波長范圍1100nm-1700nm
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運用先進(jin)的成膜(mo)計算控制技術,光透過(guo)率的極值(zhi)監控能力可達+0.01%
- 規格
- 型(xing)號 HOM1-1
- 波長帶(dai)域 1100nm - 1700nm
- 波長(chang)分解能 0.08nm
- 光亮設(she)定分解能 0.001%
- 光(guang)源 鹵素燈(deng)
- 電源 AC100V±10%, 50/60Hz
- 消費電(dian)力 600VA
