關于Gener系列

AS/AR Vacuum Coater

此真空(kong)鍍(du)膜(mo)機是鍍(du)制防污膜(mo)（AS膜(mo)）及(ji)防反射膜(mo)+防污膜(mo)（AS+AS膜(mo)）的大型光學鍍(du)膜(mo)機， 應用于智慧手機等所配的觸摸屏。

特征
磁密封(feng)驅(qu)動的(de)基板旋(xuan)轉(zhuan)方式可得到(dao)穩定和(he)均勻的(de)膜厚(hou)分布
配備RF離子源以(yi)提高膜(mo)的耐摩擦性。（*已通過4萬次(ci)以(yi)上摩擦試驗*）
* 根據(ju)摩擦試驗的規格，摩擦的次數有所(suo)不同。
防污(wu)膜（AS 膜）批量(liang)生產。
規格
真(zhen)空室(shi) Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm，5片(pian)式(shi)
基板架(jia)轉速 20rpm
晶振式膜厚(hou)計 6點式水晶傳感器
蒸發 電子槍1臺，熱阻(zu)蒸1臺
離子源 RF離子(zi)源
性能
達到壓力 7.0E-5Pa 以下(xia)
排氣(qi)時間 15分以下（大氣壓～2.0×10-3 Pa）
工作條件
設備尺寸 約6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
電源 3相(xiang),200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量(liang) 220升(sheng)/分以上(shang)
空氣(qi)壓(ya)力 0.5 - 0.7 MPa
重量 約12000kg